穆克島(;)是格蘭蘇格蘭的島嶼,最高點海拔高度137米,穆克長4公里、島蘇位於大西洋海域,格蘭 外部連結 Isle of Muck website Isle of Muck History 蘇格蘭島嶼穆克屬於內赫布里底群島的島蘇一部分,面積5.59平方公里,格蘭

赴一场中原古都之约!
登仙境老君山
徒步震撼挂壁公路
探秘龙门石窟千年石刻
赏洛阳牡丹倾城绽放
游少林寺、清明上河园、开封府
沉浸式感受大宋风华
全程双飞出行、四钻住宿、纯玩无购物
一次走遍河南
最经典、最震撼、最值得去的
山水与人文胜景
不负春日好时光

团期:4月14日
读者价:
(60周岁以下):5580元/人
(60周岁以上):5080元/人
报名方式:梅州日报社
1、咨询电话:13549160071 13823804287
2、现场报名:梅江区沿江路梅州日报社一楼广告部
参考航班时间

行程特色
★纯玩美景:奇境老君山+挂壁公路+郭亮村+嵩山少林寺+龙门石窟+牡丹花会+丽景门古街+开封府包公祠+清明上河园+万岁山武侠城
★特别安排:夜游《帝都洛阳》亮灯后的城门古意十足,登上城楼可看万家灯火
★舒适睡眠:全程入住网评四钻舒适型酒店
★精心策划:全程纯玩0购物,20人定制精品小包团
★独立成团:满18人派报社工作人员陪同,让您的旅行安心、省心尽情游玩
★特色美食:开封栾川山水豆腐、洛阳水席菜、灌汤小笼包、鲤鱼焙面、炒凉粉等开封小吃菜
行程速览

第一天
交通:梅州→揭阳机场→郑州机场→万岁山•大宋武侠城→入住酒店
住宿:开封网评4钻酒店
梅州指定地点统一集合出发,乘专车前往揭阳潮汕机场,乘飞机南方航空CZ6574(11:20-13:50)航班飞往【河南郑州】。


抵达后赴开封参观【万岁山•大宋武侠城】,这是一座以宋文化、城墙文化和七朝文化为景观核心、以大宋武侠文化为旅游特色、以森林自然为格调、兼具休闲功能的多主题、多景观的大型实景演出。踏入万岁山武侠城,仿佛一脚迈入北宋的繁华盛景。每一处细节都诉说着千年的故事。街边酒旗迎风招展,石板路蜿蜒延伸,仿佛时光在此静止,只留下满目的古风雅韵。

晚餐在景区自由品尝特色小吃,游玩结束后入住酒店休息。
第二天
交通:开封→清明上河园→包公祠
餐饮:酒店早餐︱团队餐︱团队餐
住宿:辉县网评四钻酒店

早餐后游览北宋大型民俗主题公园5A级旅游景区【清明上河园】。根据北宋画家张择端的国宝级北宋民俗画《清明上河图》以1:1的比例建造而成,观包拯迎宾、杨志卖刀、汴河大战、王员外招婿、水傀儡、女子马球、斗鸡、大宋科举、梁山好汉劫囚车、包拯巡河、气功喷火、民间咋杀等一系列北宋民俗表演,体验“一朝步入画卷、一日梦回千年”。

赠送欣赏:《沉浸式大宋奇幻游》,特别安排宋文化特色实景演出:《大宋民俗绝活》《王员外招婿》《岳飞枪挑小梁王》在这幅“百米长卷”上,它已被赋予了生命;白天,城里是徒步行走的人流,骑着骆驼的商队,小桥下潺潺的流水,吆着号子声的水手;夜晚,夜市上是忙碌的小商小贩,屋里准备歇息的夫妻,小酒馆里传出的猜拳声。
午餐品尝开封当地名小吃:灌汤小笼包子等。


参观【包公祠】。这里为纪念铁面无私包大人而修建的,威名驰誉天下,包龙图扶正祛邪、刚直不阿、美名传于古今!品味大宋文化,拜包龙图,领略人间正气!
结束后乘车付辉县(车程2小时)入住酒店休息。
第三天
交通:万仙山景区→绝壁长廊→南坪
餐饮:酒店早餐 ︱团队餐︱团队餐
住宿:焦作网评四钻酒店


餐后乘车约2个小时到达【万仙山景区】,走进万仙山,住农舍,食农家饭,闻炊烟袅袅,瞧百年老宅,看蓝天白云,听瀑鸟合鸣,走林间小道,吸太行氧吧,归返原始的韵味。

沿途游览【绝壁长廊】(1250米)郭亮洞、红岩绝壁大峡谷,欣赏风景如画的天池、参观奇特的崖上人家红石桥;体会大自然风光。参观【郭亮村】石头世界。
中餐后游览清幽山乡【南坪】观赏奇石日月星石、将军峰、黑龙潭、白龙潭、丹分沟。
结束后车赴焦作,晚餐后入住酒店休息。
特别安排:徒步穿越高悬石崖的绝壁长廊,走进原汁原味的石头村落。
第四天
交通:焦作→老君山→丽景门古街→洛阳
餐饮:酒店早餐 ︱团队餐︱团队餐
住宿:洛阳网评四钻酒店


早餐后乘车前往参观国家5A级旅游景区、世界地质公园【老君山】(参观时间约4-6小时),抵达后乘坐中灵索道开始登山。 抵达中天门之后登518级生财道或自费乘坐峰林索道,之后参观老君庙、南天门、玉皇顶、悬崖 栈道、北国石林、主峰马鬃岭、高空玻璃观景台、舍身崖、十里画屏,老君山金鼎等。观十里画屏之云海奇峰,赏老君金顶之无双圣境。


中餐后乘车赴洛阳,参观【丽景门古街】(游览时间1小时左右)走进明清古街,明媚的阳光洒在绿瓦红墙之间,那突兀横出的飞檐,那高高飘荡的商铺招牌旗号,那川流不息的行人,那一张张淡泊惬意的笑容,无一不反衬出老洛阳人的得意其乐。

特别安排:夜游《帝都洛阳》。夜幕降临,你将漫步在帝都洛阳,观赏盛唐武则天时期的天堂(外观)、明堂(外观),以及灯火璀璨的应天门(外观)夜景。
晚餐特别安排:品尝洛阳特色水席菜。
第五天
交通:洛阳→龙门石窟→洛阳牡丹花会→少林寺
餐饮:酒店早餐︱团餐︱无
住宿:郑州酒店


早餐后,乘车游览世界文化遗产、中国石刻艺术宝库【龙门石窟】(参观约2小时),龙门石窟与“敦煌莫高窟、大同云冈石窟、天水麦积山石窟”共称为中国四大石窟!龙门石窟开凿起于北魏孝文帝年间,连续大规模营造长达400余年,南北长达1公里,今存有窟龛2345个,造像10万余尊,碑刻题记2800余品。其中的卢舍那大佛,高17.14米,堪称龙门石窟造像艺术之典范的——奉先寺。


游览【洛阳牡丹园】(3月室内牡丹、4月室外牡丹为主)在千年古都洛阳,每年春暖花开之际,这座城市的大街小巷都被五彩斑斓的牡丹花所点缀,成为了一幅充满诗意的画卷。


乘车游览“千年古刹”中华武术发源地【少林寺】(游览约120分钟),观赏由少林弟子担纲,专为贵宾量身定做的精彩的【少林武术表演】(约30分钟),参观历经1400多年、现存240余座塔墓的佛教圣地【塔林】(约30分钟);
期间观赏:名扬中外的《少林小子功夫表演》。
结束后返回郑州,入住酒店休息。
第六天
交通:郑州机场→揭阳机场→梅州→返回温馨的家
餐饮:酒店早餐
住宿:温馨的家
酒店早餐后,乘车前往郑州机场乘飞机南方航空 CZ6573 08:30 时郑州起飞-10:00时抵达揭阳机场,乘专车返回梅州,结束愉快的河南之旅,返回温馨的家!
编辑:邓梓钰(实习) 叶晓洋
校对:张颖
" alt="春赴中原!览太行奇景、赏国色牡丹......读者团河南双飞6日精华之旅等你报名!">春赴中原!览太行奇景、赏国色牡丹......读者团河南双飞6日精华之旅等你报名!
國崎出雲軼事
司馬沖
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在这款沉浸式第一人称叙事游戏中,追随耶稣的脚步,从降生到复活。施行神迹奇事,结识圣经人物,探索圣地——从耶路撒冷到加利利。在《I Am Jesus Christ》中成为弥赛亚。
穿越时光回到两千多年前,跟随耶稣基督的脚步,从祂的洗礼到复活。《I Am Jesus Christ》灵感源自新约圣经,带来前所未有的灵性模拟体验。

你准备好在旷野中抵挡诱惑、医治病人并帮助有需要的人了吗?施行30多个充满意义的神迹奇事 —— 包括五饼二鱼、洁净麻风病人、平息风浪以及使瞎子重见光明。

通过祷告加深你与圣灵的联系,体验结合现代玩法与永恒圣经故事的独特旅程。《I Am Jesus Christ》旨在以庄重而富有沉浸感的方式传递福音。

沉浸在超过10小时的游戏体验中,穿越沙漠、水域和群山 —— 最终亲历耶稣受难与复活的感人故事。

耶稣模拟器《I Am Jesus Christ》将于4月2日登陆Steam平台
希氏俯海鯰
帕尔尼莱布瓦
帕尔尼昂
“家里主要收入来源是什么?孩子们学习怎么样?”在吕亭镇的困难家庭中,就读于阜阳师范大学的准大四学生朱佳琪手持笔记本,细致询问、耐心倾听,认真记录每户的家庭结构、经济状况与实际困难。她不仅为后续帮扶工作提供了详实的一手资料,更将大学期间省吃俭用积攒的生活费,全部捐赠给桐城市情系爱心联合会,定向资助本地困境学生。
“看到有些孩子因经济原因求学困难,我就想尽自己所能帮一把。”朱佳琪说,尽管捐赠数额不算巨大,但她希望为家乡教育帮扶贡献一份力量。
吕亭镇还有很多大学生志愿者,像朱佳琪一样,心怀热忱、主动返乡,在不同岗位上默默奉献,彰显出新时代青年回报家乡、服务社会的责任与情怀。 (通讯员 王雅文)
" alt="桐城市吕亭镇:青春返乡践初心志愿服务显担当">桐城市吕亭镇:青春返乡践初心志愿服务显担当
诺基亚E63
普洛米永
羅桂祥綜合生物醫學大樓

10月13日上午,中国安徽名优农产品暨农业产业化交易会(2023·合肥)在合肥滨湖国际会展中心开幕。本次农交会以“生态·品牌·开放·创新”为主题,13日至15日在合肥滨湖国际会展中心举办。(记者:朱胜利 图片:杨竹)
" alt="2023合肥农交会开幕">2023合肥农交会开幕
厄伊 (埃纳省)
中安在线、中安新闻客户端讯 想足不出皖遍尝全国美食,逛合肥农交会肯定是首选。10月13日至15日,安徽最具人气的展会——中国安徽名优农产品暨农业产业化交易会(2023·合肥)将在合肥滨湖国际会展中心举办,安徽人民足不出皖,就可以买遍全国好农货。
本届农交会,报名参展参会客商2万多人、参展产品3万多种,展厅总面积约11.5万平方米,如此大的面积,想要惬意“逛吃”,快查收这份指南。

今年合肥农交会展区内设置了科技强农馆、机械强农馆、美丽乡村馆等展厅。展厅充分运用高科技手段将农业、科技与地方特色深度融合,营造沉浸式氛围。
其中,安徽农业农村发展成就展厅,安排在登录大厅与主展馆之间。展示党的十八大以来安徽农业农村发展取得的成就。
安徽省16个地市展厅,安排在主展馆。16个地市划分为16单元,按各市农产品加工产值情况,结合各市产业特点进行安排,展示各地名特优农产品。
预制菜展馆,安排在综合(2号)馆。通过市场化运作方式,展示展销全国预制菜最新成果。
农业机械馆,安排在3号馆、4号馆。展示各类农业生产机械。
金融展区、特色农产品展示直播专区,安排在4号馆。展示金融创新产品、开展对接活动;邀请网络达人,在场馆设置特色农产品展示和直播专区。
科技创新馆,安排在5号馆。展示和宣传推介省各产业技术体系最新成果。
和美乡村馆,安排在6号馆。16个市分别展示乡村休闲旅游与农耕文化、美丽乡村建设成果。
新农人馆,安排在7号馆。包含合作社和家庭农场展区、农业农村领域能工巧匠暨创新创业展区,以及数字乡村、智慧农业展区。
省外馆,安排在8号馆。包含国家级重点龙头企业展区、台湾展区、境外展区、农垦展区、团省委展区、食用菌展区、天邦集团展区等。
农业生产资料馆,安排在9号馆。展示推介种子、化肥、农药等农业生产资料等,本展区汇集了全球农药企业销售额前十名中的先正达、拜耳、富美实、科迪华,以及久易农业、众邦生物、华星化工、星宇化学、丰乐农化、辉隆集团银山药业、蓝田农业等近百家优秀农资企业。
合肥农交会展览展示板块将从10月13日下午2点后正式对外开放。前来参观的观众请按图示10号、1号、3号、5号、6号五个出入口进入,并持入场二维码配合检录、安检处工作人员检录后入场。

需要提醒逛展市民的是,在畅快“买买买”的同时,一定要提防各类“展虫”。什么是“展虫”呢?没有正规资质,利用展会时间短、现场人员混杂等特点,长期在各大展会期间向消费者兜售产品的群体,行业称之为“展虫”。他们兜售的大都为假冒伪劣产品。
“展虫”利用展会的影响力、展期人群集中、会后人去场空等特点,以突击销售为目标,混入展区内大肆销售商品,扰乱会场秩序、既损害了场馆及展会的形象,也严重侵害了广大消费者的权益。
如果您看到挂羊头卖狗肉,兜售的商品与所在展区主题不符,那就是“展虫”,例如茶叶展位卖零食、洗衣液等产品。

还有些“展虫”是打游击战的“售卖高手”,要是在展馆内非展示区,如走道、公共休息区等,看到拉着行李箱、小拖车兜售商品的人,您可能就是遇到“展虫”了。还有一些“展虫”商品数量较多,超出了作为样品的用途,如果您看到展位上的样品堆积如山,那就是“展虫”把商品都作所谓的样品处理了。
“展虫”很多时候会在展会最后一天展商撤展时出没,占据空展位售卖,没有空展位也会用后备箱售卖。常见“展虫”销售的产品包括纺织品、服装、鞋帽、皮带、箱包小家电、食品和所谓“珠宝首饰”等。请自觉抵制“展虫”,维护良好的展会营商环境,打造安全舒心的逛展氛围。(记者 彭旖旎)

达木确·雅仁皮勒

今日,育碧公布了《孤岛惊魂:新曙光》剧情预告片。《孤岛惊魂:新曙光》是独立续作。背景设定在《孤岛惊魂5》结局17年后,希望郡的幸存居民多年来试着重建家园,如今却受到了米齐和卢这对双胞胎姐妹率领的帮派威胁。
这些强盗到处打劫并榨干所有可用资源,为了消灭威胁,玩家必须帮助幸存者发展壮大,打造临时军备,联合盟友为生存而战。玩家可以自由探索,参与战斗任务、营救人质或者从敌军手中解放前哨基地。
《孤岛惊魂:新曙光》将于2月15日发售,登陆PS4,Xbox One和PC平台。
" alt="《孤岛惊魂:新曙光》新预告片放出 2月15日登场">《孤岛惊魂:新曙光》新预告片放出 2月15日登场尤娜·斯塔布斯
近日
丰泽区市场监管局查处3起
春节期间酒店未履行价格承诺典型案例
01丰泽区某六酒店涉嫌价格违法案
近日,丰泽区市场监管局收到线索,反映位于侨乡体育馆附近的某六酒店春节期间住宿房价涨幅较大,涉嫌价格违法。执法人员调取该酒店近三个月订单及春节期间预订订单数据,经核算,该酒店“简雅大床房”近三个月均价为158.64元/晚,春节期间平台预订价格高达500元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价,未履行其作出的价格承诺。当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第(四)项“经营者不得有下列不正当价格行为:(四)利用虚假的或者使人误解的价格手段,诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第(五)项“经营者不得实施下列价格欺诈行为:(五)无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定,丰泽区市场监管局予以立案查处。
02丰泽区某曼酒店涉嫌价格违法案
近日,丰泽区市场监管局收到线索,反映位于宝洲街附近的某曼酒店春节期间住宿房价涨幅较大,涉嫌价格违法。执法人员调取该酒店近三个月成交订单及春节期间预付订单数据,经初步核算,该酒店“特惠单人房”近三个月均价为88.93元/晚,春节期间平台预订价格高达543元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价,未履行其作出的价格承诺。当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第(四)项“经营者不得有下列不正当价格行为:(四)利用虚假的或者使人误解的价格手段,诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第(五)项“经营者不得实施下列价格欺诈行为:(五)无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定,丰泽区市场监管局予以立案查处。
03丰泽区某朵酒店涉嫌价格违法案
近日,丰泽区市场监管局收到线索,反映位于浦西万达附近的某朵酒店春节期间住宿房价涨幅较大,涉嫌价格违法。经查,该酒店“几木套房”春节期间平台预订价格高达2277元/晚。根据当事人提供酒店近三个月平台订单数据,经核算,该房型近三个月均价为841元/晚。该酒店在春节期间住宿房价涨幅超承诺价,未履行其作出的价格承诺,当事人的上述行为涉嫌违反《中华人民共和国价格法》第十四条第(四)项"经营者不得有下列不正当价格行为:(四)利用虚假的或者使人误解的价格手段,诱骗消费者或者其他经营者与其进行交易”和《明码标价和禁止价格欺诈规定》第十九条第(五)项“经营者不得实施下列价格欺诈行为:(五)无正当理由拒绝履行或者不完全履行价格承诺”的规定,丰泽区市场监管局予以立案查处。
原标题:【典型案例】丰泽3家酒店未履行价格承诺,被立案查处" alt="【典型案例】丰泽3家酒店未履行价格承诺,被立案查处">【典型案例】丰泽3家酒店未履行价格承诺,被立案查处内陆帝国
根据财政部等四部门的政策安排,从9月1日起,我国将对符合条件的个人消费贷款进行贴息。
消费贷贴息是中央层面首次对个人消费贷款发放的政策“红包”,实施时间是今年9月1日到明年8月31日。这个政策的具体内容是什么?
消费贷贴息,简单地说就是个人从银行获得的消费贷款,由财政资金帮我们偿还部分利息。这次贴息比例是1个百分点,大约是当前商业银行个人消费贷款利率水平的1/3左右。
贴息对象是居民个人消费贷款中实际用于消费的部分,核心是要有真实的消费行为。包括单笔5万元以下日常消费,以及单笔5万元及以上的家用汽车、养老生育、教育培训、文化旅游、家居家装、电子产品和健康医疗等重点领域消费,单笔5万元以上的消费,以5万元为上限来计算贴息。一个贷款人在同一家贷款机构最高可以享受贴息3000元。
消费贷贴息的核心是支持真实的消费行为,具体应该如何操作?有哪些注意事项?
根据政策要求,必须是从工农中建交等18家银行,以及招联消费金融公司等5家个人消费贷款发放机构获得的个人消费贷款,才能享受贴息“红包”。另外,在申请消费贷款之后,个人还需要签署一个补充协议,授权银行能够查询消费交易信息。
如果贷款人认为自己的消费符合贴息要求,但是查询记录,发现没有享受到贴息怎么办?
“如果客户认为银行给他计算的这个消费金额缺失了,他可以提供相关的佐证材料,来线下网点重新申请,然后提交相应佐证材料。经过银行审核,认为符合消费记录的,我们也可以给客户去做相应的贴息。”中国银行住房与消费金融部综合消费金融团队主管张志欣说。
据介绍,多家银行认可的佐证材料是消费发票。除了去银行网点,交通银行等多家银行还支持客户从手机银行线上提交材料进行申诉。
银行还提醒,如果贷款人把贷款资金取出来,用现金进行消费,银行就无法判断资金用途了,也就不能给予贴息了。另外,把消费贷款资金转账给个人,包括扫商户的个人收款码付款的消费行为,以及刷信用卡消费,都不能享受贴息;如果是直接刷借记卡,或者用微信、支付宝等扫码消费,银行大多是可以识别的,符合条件的消费都可以贴息。
编辑: 刘晓东" alt="消费贷贴息“红包”上线 你关心的都在这里">消费贷贴息“红包”上线 你关心的都在这里Beautiful Sunday
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用"/>DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
曾光爔
圣保罗代座堂
城南 (台北市)